Как удалить процесс

Excel = System.EmptyValue;
CollectGarbage();

try{
	setTimeout(CollectGarbage(),1);
}
catch (e){
 
}

	var ExcelApplication = new ActiveXObject('Excel.Application');
	var WorkBook = ExcelApplication.WorkBooks.Open('имя файла');
	var Sheet = WorkBook.ActiveSheet;
	try
	{
             // тут код
	}
	finally
	{
		Sheet = null;
		WorkBook = null;
		ExcelApplication.Quit();
		ExcelApplication = null;
                CollectGarbage() ;
	}